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米兰 朔方华创请求半导体工艺腔室及引诱专利, 可改动响应区域容积
发布日期:2026-04-26 02:59 点击次数:102

国度学问产权局信息显现,北京朔方华创微电子装备有限公司请求一项名为“半导体工艺腔室及半导体工艺引诱”的专利,公开号CN121925055A,请求日历为2024年10月。
专利摘记显现,本请求践诺例提供了一种半导体工艺腔室及半导体工艺引诱,其中半导体工艺腔室包括:腔室施行、进气组件和承载安设;进气组件封盖腔室施行,以与腔室施行围成容置腔;承载安设包括座体、承载盘、起原器和第一伸缩密封件;座体和承载盘均诞生于容置腔内,承载盘位于座体的朝向进气组件的一侧,承载盘与进气组件之间的区域为响应区域;座体朝向承载盘的周缘部位与承载盘朝向座体的周缘部位经第一伸缩密封件密封连续,座体、承载盘和第一伸缩密封件的内壁所围的区域酿成第一空腔;起原工具于起原承载盘朝鸠合或隔离座体的标的挪动,以改动第一空腔的容积,进而改动响应区域的容积。
天眼查贵府显现,MILAN SPORTS北京朔方华创微电子装备有限公司,诞生于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册成本114153.708311万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标形势1407次,财产脚迹方面有商标信息72条,专利信息5000条,此外企业还领有行政许可340个。
声明:商场有风险,投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不组成个东说念主投资提出。
本文源自:商场资讯米兰
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